| Die Piezostelltische der PIHera-Serie von Physik Instrumente kombinieren sehr große Stellwege (bis zu 1.000 µm) mit minimalen Abmessungen. Dies wird durch ein neues, besonders steifes und reibungsfreies Flexure-Antriebssystem ermöglicht. Es bildet auch die Grundlage für kurze Ansprechzeiten und hohe Führungsgenauigkeit. Anwendungen wie beispielsweise Längenänderungen des optischen Strahlenganges in der Interferometrie, Probenpositionierung in der Mikroskopie, Feinstjustage oder optisches Tracking benötigen die Kombination aus relativ großen Stellwegen und Nanometerpräzision, wie sie die neuen Tische bieten. Die geregelten Versionen sind mit hochgenauen und kontaktlosen kapazitiven Wegsensoren ausgerüstet. Sie erfassen die Bewegung direkt, was zu höherer Phasentreue und Bandbreite als bei indirekten Systemen führt. Zudem ermöglichen die Sensoren hohe Linearität und Wiederholgenauigkeit. Dieses Messprinzip erlaubt in Verbindung mit dem temperaturkompensierten Aufbau eine Positionsauflösung und Stabilität im Nanometerbereich. |
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