<![CDATA[
<BODY>
<H1>www.aud24.net : Wafer-Positioniersystem</H1>
<P> <BR>
[<A href="/">www.aud24.net</A>] [<A href="../index.html">back</A>]
</P>
<TABLE WIDTH=100% BORDER=0 CELLSPACING=0 CELLPADDING=0>
<TR>
<TD VALIGN=top>
<TABLE WIDTH=100% BORDER=0 CELLSPACING=0 CELLPADDING=0>
<TR>
<TD VALIGN=TOP CLASS=detailBereichRedaktion>Bereich >
Redaktion
> <B><FONT color="#CC3300">Nachrichten</FONT></B></TD>
<TD ALIGN=right VALIGN=bottom CLASS=detailDatum>13.12.2005</TD>
</TR>
</TABLE>
</TD>
<TD VALIGN=top> </TD>
<TD VALIGN=top> </TD>
</TR>
<TR>
<TD VALIGN=top CLASS=detailFirma ID=topSpace>A&D Fachmedien:</TD>
<TD VALIGN=top> </TD>
<TD VALIGN=top> </TD>
</TR>
<TR>
<TD VALIGN=top CLASS=detailTitel>Wafer-Positioniersystem</TD>
<TD VALIGN=top> </TD>
<TD VALIGN=top> </TD>
</TR>
<TR>
<TD VALIGN=top CLASS=detailSubtitel></TD>
<TD VALIGN=top> </TD>
<TD VALIGN=top> </TD>
</TR>
<TR>
<TD VALIGN=top>
<TABLE BORDER=0 CELLSPACING=0 CELLPADDING=0>
<TR>
<TD VALIGN=top CLASS=detailContent>Das Wafer-Positioniersystem Open Frame Planar Table hat Idam vorgestellt. Der Einebenen-XY-Direktantrieb mit integrierter Winkelkorrektur von ±15° kann Drehbewegungen um jeweils einen beliebigen Punkt ausführen. Er ist verschleißfrei durch Luftlagerung, die absolute Positioniergenauigkeit im Arbeitsbereich liegt bei ±8 µm, die Wiederholgenauigkeit ist kleiner als ±2 µm. Entwickelt wurde das Planarsystem entsprechend einer Kundenanwendung, in der Chips für die Mikroelektronik in Blistergurten verpackt werden. Durch den Einsatz eines Planar-antriebs ist es möglich, mehrere Arbeitsschritte mit einem System zu realisieren. Als spezielle Vorteile- sind die flache Bauweise und die Auslegung für größere Hübe zu nennen. In Zukunft will der Spezialist für Direktantriebstechnologie den Open Frame Planar Table in das Sortiment der Serienprodukte aufnehmen.</TD>
</TR>
<TR>
<TD CLASS=detailQuelle> </TD>
</TR>
</TABLE>
</TD>
<TD WIDTH=28 VALIGN=top><IMG NAME="" SRC=/pi/spacer.gif WIDTH=1 HEIGHT=1 ALT=""></TD>
<TD WIDTH=174 VALIGN=top></TD>
</TR>
<TR>
<TD VALIGN=top><IMG NAME="" SRC=/pi/spacer.gif WIDTH=393 HEIGHT=1 ALT=""></TD>
<TD WIDTH=28 VALIGN=top><IMG NAME="" SRC=/pi/spacer.gif WIDTH=28 HEIGHT=1 ALT=""></TD>
<TD WIDTH=174 VALIGN=top><IMG NAME="" SRC=/pi/spacer.gif WIDTH=174 HEIGHT=1 ALT=""></TD>
</TR>
</TABLE>
<P><I>Diese Seite wurde am 22.09.2006, 14:06 Uhr aktualisiert</I></P>
</BODY>
]]>